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蒸發式冷卻技術可可追溯至古代，那時河流、海洋、湖泊和池塘等等都是作為供水的方式被人們利用的。由于過去工業活動有限，加之水源豐富，冷卻水用一次便被排掉，再從水域中取冷水。在工業廠址選擇時，總要考慮有可利用的江、河、湖、泊作為冷卻水的取水源和排放地或有可利用的巨大池塘或溝渠貯存、冷卻、再循環或排放工藝或冷卻用水。為了減少有效占地，在貯存水池中裝設噴霧系統使池水充氣，或將水噴在池子上使之與空氣充分接觸以冷卻，后再發展形成噴水池技術。技術再發展便有了噴霧式冷卻塔，人們發現將熱水在一個箱噴射便可將熱水冷卻，這便是今天還有用的噴霧式冷卻塔的雛形。后漸完善，又增加了空氣流動機械設備，便有了帶風機的噴霧式冷卻塔。再后來人們為解決塔內水滴的下沉速度，在塔內添加了填料，這便是現代冷卻塔的開始。隨后有了機械通風逆流塔、橫流塔、自然塔等。